16 124 897 livres à l’intérieur 175 langues
2 047 051 livres numériques à l’intérieur 101 langues
Cela ne vous convient pas ? Aucun souci à se faire ! Vous pouvez renvoyer le produit dans les 30 jours
Impossible de faire fausse route avec un bon d’achat. Le destinataire du cadeau peut choisir ce qu'il veut parmi notre sélection.
Politique de retour sous 30 jours
This is the first definitive book on rapid thermal processing (RTP), an essential namufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. Written and edited by nine experts in the field, this book covers a range of topics for academics and engineers alike, moving from basic theory to advanced technology for wafer manufacturing. The book also provides new information on the suitability or RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy, and in situ processing. Complete discussions on equipment designs and comparisons between RTP and other processing approaches also make this book useful for supplemental information on silicon processing, VLSI processing, and integrated circuit engineering.