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Plasma Processing of Semiconductors, 1

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Livre Livre de poche
Livre Plasma Processing of Semiconductors, 1 P.F. Williams
Code Libristo: 02279590
Éditeurs Springer Netherlands, octobre 2012
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etch... Description détaillée
? points 943 b
399.05 včetně DPH
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Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. §Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.

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