Procédés industriels de traitement de surfaces par voie plasma

L'énergie photovoltaďque est une énergie renouvelable trčs prometteuse qui permet une transformation directe de la lumičre du soleil en électricité. Cependant le coűt de fabrication des cellules photovoltaďques reste onéreux. Pour la rendre plus compétitif, l'une des solutions consiste ŕ développer des procédés industriels de traitement de surfaces (texturisation, polissage...) par voix sčche. Dans cette perspective, ce travail est centrée sur la réduction des pertes optiques sur la face avant et ŕ l'intérieur de la cellule. Pour cela un réacteur plasma de type indirect a été conçu et breveté par la société SEMCO ENGINEERING. Son développement a été mené tout au long de cet ouvrage par l'étude des principaux paramčtres influençant les procédés de gravure plasma et au travers d'applications sur cellules. Cette étude a permis d'obtenir des gravures uniformes sur cellules comparé ŕ la gravure humide (texturisation acide) par ajustement de ces principaux paramčtres. Le développement du procédé de texturisation plasma a conduit ŕ une amélioration du rendement de conversion moyen de l'ordre de 0,2 ŕ 0,4% par rapport ŕ la technologie classique.